MEMS传感器基础知识
本页包括MEMS传感器基本知识，并提及MEMS传感器类型。类型包括加速度计、力传感器、湿度传感器、压力传感器等。
MEMS传感器是微机电系统传感器的简称。这些传感器将具有1 μ m-100 μ m的非常小的器件。MEMS传感器至少具有1个机械元件或功能。
在这个微尺度下，粒子的重量与其他力相比可以忽略不计。这就是MEMS传感器的原理。
MEMS传感器类型有加速度计、压力传感器，气体传感器，湿度传感器还有陀螺仪等等。
传感器类型
陀螺仪和加速度计:这些类型的MEMS传感器用于计算角运动或位移。这些传感器背后的主要原理是测量角度运动w.r.t.时间(即X-Y-Z轴向测量)。这些传感器还充当温度传感器。这些传感器用于许多不同的应用，如数字罗盘，重力传感器，GPS跟踪等。
湿度传感器:这些类型的MEMS传感器广泛应用于矿山、发电厂、造船厂和温室。湿度传感器的工作原理是吸收周围空气中的气体。这将弯曲微观悬臂，这将导致在没有重力的情况下掺杂电阻的变化。这是电感应，以利用功能。请参考湿度传感器用于定义湿度和各种类型的湿度传感器，包括电容式传感器、电导传感器、热导传感器、光学湿度计、振荡湿度计等。
力传感器:请参考力传感器其中包括带LVDT的弹簧力传感器、带压力传感器和应变计的力传感器。
压力传感器:请参考压力传感器介绍压力传感器的基本功能及类型，例如水银压力传感器、压阻式压力传感器、电容式压力传感器、光电压力传感器等。
传感器和传感器相关链接
近距离传感器
占用传感器vs运动传感器
LVDT和RVDT传感器
位置、位移和液位传感器
力传感器和应变传感器
温度传感器
压力传感器
也请参考物联网兼容传感器其中包括环境光传感器、光学传感器、手势传感器、接近传感器、触摸传感器、指纹传感器等。
请参考传感器和换能器产品涵盖类型，基本功能，并提供连接到传感器和传感器。它包括温度传感器，湿度传感器，应变传感器，接近或占用传感器，力或负载传感器，电压和电流传感器，压力传感器，速度传感器，电阻传感器，功率传感器，液位传感器，事件或状态传感器等。